证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现芯联集成(688469)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“维护环及等离子体处理设备”,专利申请号为CN2.6,授权日为2024年4月16日。
专利摘要:本实用新型触及一种维护环及等离子体处理设备,等离子体处理设备包含处理腔室,设于处理腔室内且固定晶圆的吸盘,以及维护环,维护环的内径小于吸盘的直径,以使维护环的中空环状主体盘绕吸盘设置,维护环的内径小于晶圆的直径,以使中空环状主体在晶圆的底部维护吸盘,中空环状主体具有相对的上外表和下外表,上外表包含平面和坐落平面的外周侧且向下外表方向歪斜的斜面,维护环还包含多个定位凸台,多个定位凸台设于上外表上,并沿中空环状主体的周向距离设置,多个定位凸台用于在晶圆的旁边面限位晶圆。本实用新型可削减反响副产物在维护环和吸盘之间的堆积,从而进步设备正常运转功率,提高产品良率,并削减清洁频率,降低成本。
今年以来芯联集成新取得专利授权21个,较去年同期增加了5%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研制方面投入了15.29亿元,同比增82.25%。
以上内容由证券之星依据揭露信息收拾,由算法生成(网信算备240019号),与本站态度无关,如数据存在问题请联络咱们。本文为数据收拾,不对您构成任何出资主张,出资有危险,请慎重决议计划。
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包含在内)为自媒体渠道“网易号”用户上传并发布,本渠道仅供给信息存储服务。
新版《成都市物业管理条例》10月1日起施行,业主有权提出物业费调价,车位不得只售不租
老婆让她闺蜜给我做个男科手术,半梦半醒之间,我感觉自己下半身的触感不对劲
WCBA总决赛进抢五!四川单节26-5坎贝奇24+19 内蒙古3人犯满离场
一加Ace3 Pro再次被承认:骁龙8 Gen3+1TB,家族式规划也改了!
华为Pura 70系列:正式说你好!华为Mate60系列:逐步说再会!
网友拍下宝宝由于睡醒没看到妈妈哭抽了,哄了半响仍是很冤枉,网友:好冤枉啊宝宝。
网友表明爸爸带娃主打一个轻松愉快,真是有一种法力,网友:接腹中宝宝健康安全诞生。